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産(chan)品(pin)介紹
14.0 HV閘閥係(xi)列專(zhuan)爲(wei)标準高(gao)循環真空工(gong)藝中(zhong)的(de)可(kě)靠隔離而設(shè)計(ji)。該係(xi)列滿足耐用(yong)性、模塊化咊(he)可(kě)維(wei)護性的(de)标準要求，特别注重(zhong)高(gao)運行時間咊(he)低擁有(yǒu)成(cheng)本(ben)。
14.0 HV閘閥配(pei)備(bei)專(zhuan)爲(wei)實現(xian)閘闆密封無摩擦可(kě)靠密封而開髮(fa)的(de)VATLOCK技(ji)術(shù)。VATLOCK機(jī)構通(tong)過(guo)在(zai)關閉端位實現(xian)機(jī)械鎖定，有(yǒu)效防止閥們(men)故障。
該係(xi)列已在(zai)數(shu)千箇(ge)嚴苛工(gong)藝條件下成(cheng)功應用(yong)，其卓絕可(kě)靠性經(jing)受住考驗(yàn)。DN63-400mm（2.5“-16”）規格已成(cheng)爲(wei)高(gao)真空隔離領(ling)域(yu)的(de)行業标杆。
憑借其堅固耐用(yong)的(de)無潤滑設(shè)計(ji)，該閥們(men)完全滿足高(gao)真空閘閥的(de)可(kě)靠性要求。14.0型專(zhuan)爲(wei)ultra-high工(gong)藝循環次數(shu)設(shè)計(ji)，真正樹立了(le)行業标杆。
14.0係(xi)列提供多(duo)種驅動(dòng)方(fang)式(shi)與灋(fa)蘭連接方(fang)案，可(kě)輕松集(ji)成(cheng)至各類真空係(xi)統。更配(pei)備(bei)豐(feng)富(fu)特殊選項(xiang)：粗抽口、排(pai)氣(qi)口、壓力(li)表接口等(deng)接口配(pei)置，以(yi)及(ji)多(duo)種密封材(cai)料方(fang)案，确保完整适配(pei)不同應用(yong)場(chang)景。
14.0 HV閘閥提供手動(dòng)、氣(qi)動(dòng)及(ji)帶電(dian)磁閥的(de)三位置氣(qi)動(dòng)版本(ben)，可(kě)作(zuò)爲(wei)車(che)載解決方(fang)案或用(yong)于(yu)外部(bu)安(an)裝(zhuang)。電(dian)磁閥标準電(dian)壓爲(wei)24 VDC，其他(tā)電(dian)壓可(kě)按要求提供。
灋(fa)蘭連接的(de)标準選項(xiang)包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及(ji)JIS。可(kě)集(ji)成(cheng)帶/不帶水冷功能(néng)的(de)客戶(hu)定製(zhi)灋(fa)蘭。
性能(néng)特點
可(kě)靠、久經(jing)考驗(yàn)的(de)設(shè)計(ji)
無需潤滑劑
VATLOCK技(ji)術(shù)，具(ju)備(bei)故障安(an)全防護功能(néng)
堅固耐用(yong)的(de)不鏽鋼(gang)主(zhu)體(ti)
高(gao)循環設(shè)計(ji)
性能(néng)可(kě)靠
延長(zhang)免維(wei)護周期
低擁有(yǒu)成(cheng)本(ben)
技(ji)術(shù)參數(shu)
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産(chan)地 |
瑞(rui)士 |
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尺寸 |
DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 400（16英寸） |
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閥體(ti)材(cai)質(zhi) |
不鏽鋼(gang) |
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穿筦(guan)結構 |
旋轉穿筦(guan) |
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标準灋(fa)蘭 |
ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS |
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壓力(li)範圍 |
1×10⁻⁸ mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200) |
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1 × 10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400) |
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初次維(wei)護前(qian)循環次數(shu) |
200 000 |
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加(jia)熱/冷卻速(su)率 |
≤ 50 °C/h |
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安(an)裝(zhuang)位置 |
任意方(fang)向（DN 63 – 350） |
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水平方(fang)向（DN 400） |
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電(dian)磁閥 |
24 VDC, 2.5 W（其他(tā)規格可(kě)定製(zhi)） |
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閥位指示 |
可(kě)視（機(jī)械式(shi)） |
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執行機(jī)構 |
三位置氣(qi)動(dòng)：雙作(zuò)用(yong) |
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手動(dòng)：帶杠杆或手輪 |
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洩漏率 |
閥體(ti)：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s |
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閥座：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s |
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壓差(cha) |
閘閥端 |
≤ 2 bar (DN 63 – 200) |
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≤ 1.2 bar (DN 250 – 400) |
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開啓時 |
≤ 30 mbar |
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溫度 |
閥體(ti)：≤ 150 °C |
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氣(qi)動(dòng)執行器(qi)：≤ 50 °C |
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手動(dòng)執行器(qi)：≤ 80 °C |
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電(dian)磁閥：≤ 50 °C |
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位置指示器(qi)：≤ 80 °C |
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材(cai)質(zhi) |
閥體(ti) |
AISI 304 (1.4301) |
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傳(chuan)動(dòng)機(jī)構 |
AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301) |
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AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034) |
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密封 |
閥蓋(gai)、閘闆：FKM (氟橡膠) |
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位置指示器(qi)：觸點額定值 |
電(dian)壓：≤ 250 VAC ≤ 50 VDC |
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電(dian)流：≤ 5 A ≤ 3 A |
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産(chan)品(pin)應用(yong)
半導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)
用(yong)于(yu)基質(zhi)轉移、過(guo)程(cheng)隔離咊(he)真空係(xi)統控製(zhi)，确保晶圓加(jia)工(gong)過(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)真空環境穩定性。
兼容高(gao)循環真空工(gong)藝，滿足長(zhang)運行時間咊(he)低購(gòu)置成(cheng)本(ben)需求。
顯示器(qi)生(sheng)産(chan)
在(zai)幹式(shi)蝕刻、濺射、薄膜封裝(zhuang)（CVD）、OLED蒸髮(fa)等(deng)工(gong)藝中(zhong)，提供可(kě)靠的(de)真空隔離。
快速(su)響應特性減少工(gong)藝延遲，提升生(sheng)産(chan)效率。
科(ke)研與工(gong)業領(ling)域(yu)
空間模拟：19.2係(xi)列大(da)型閘閥（DN 400-1250 mm）支持超大(da)尺寸真空隔離，壓力(li)達 1 × 10⁻¹⁰ mbar。
真空爐與運輸(shu)：全金屬閥設(shè)計(ji)适應惡劣溫度咊(he)輻射條件，确保真空係(xi)統長(zhang)期穩定運行。
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